高低溫真空探針臺/兼容I-V/C-V/R-F測試

產(chǎn)品型號：

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2024-11-01

產(chǎn)品簡介：

高低溫真空探針臺/兼容I-V/C-V/R-F測試，溫度范圍77K-675K(液氮)；可應(yīng)用于真空及常規(guī)環(huán)境；chao高溫度分辨率；特殊客制低溫系統(tǒng)；具有穩(wěn)定性

產(chǎn)品特性Product characteristics

品牌	華測

Huace HT-11高低溫真空探針臺

特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ 2至6英寸樣品臺

◆ 高真空腔體

◆ 防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好

◆ 77K-675K高低溫環(huán)境

◆ 兼容IV/CV/RF測試

◆ 外置多探針臂，移動行程大

◆ 經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級

極低溫測試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

技術(shù)參數(shù)

腔體規(guī)格
樣品臺尺寸	2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定	彈簧壓片
觀察窗口	2英寸/4英寸/6英寸
真空度	10-6torr
探針臂接口	4~6個(gè)探針臂接口
其他接口	電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式	液氮/液氦/制冷機(jī)
溫度范圍	77K到573K/4.5K到573K
溫控精度	0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性	±1K/±0.1K/±0.01K外形
外形	880mm長880mm寬600mm高/980mm長980mm寬600mm高
重量	約20KG/30KG

光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動行程	水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂
X-Y-Z移動行程	50mm50mm50mm
結(jié)構(gòu)	外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度	10微米/1微米
線纜	同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度	10pA/100fA/10fA
固定探針	彈簧固定/管狀固定
接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
頻率支持	DC-67GHZ
針尖直徑	0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米