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010-86460119
產品型號:
廠商性質:生產廠家
所在地:北京市
更新日期:2024-10-10
產品簡介:
品牌 | 華測 |
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半導體封裝材料I-V測試平臺/探針臺
一款溫度范圍-190℃-600℃的探針臺。使用時還可對樣品氣氛進行控制。這樣既可以保證,即使在極低溫度下,腔體也不產生結霜影響實驗,又可以防止樣品發生氧化。此款通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統的直針探針,這種設計不僅點針,而且點針力度大,和樣品的電接觸性較好。
項目 | 類別 | 參數 |
溫控參數 | 溫度范圍 | 負190℃-600℃(負溫需配液氮制冷系統) |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD/PID控制(含LVDC降噪電源) | |
大加熱/制冷速度 | +80℃/min(100℃時),-50℃/min(100℃時) | |
小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min | |
溫度穩定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) | |
軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 | |
電學參數 | 探針 | 默認為錸鎢材質的彎針探針 可選其他種類探針 |
探針座 | 杠桿式探針支架,點針力度更大,電接觸性更好 | |
點針 | 手動點針,每個探針座都可點到樣品區上位置 | |
探針接口 | 默認BNC接頭(可選三同軸)可增設腔內接線柱(樣品接電引線) | |
臺面電位 | 默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口 | |
結構參數 | 加熱區/樣品區 | 28mm X 30mm |
樣品腔高 | 6.3MM 樣品大厚度由探針決定 | |
放樣 | 打開上蓋后置入樣品再點針,關上蓋后無法移動探針 | |
氣氛控制 | 氣密腔,可充入保護氣體 *另有真空腔型號 | |
外殼冷卻 | 可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近 | |
臺體尺寸/重量 | 180mm X 130mm X26mm /1500g | |
配置列表 | 基本配置 | 溫控探針臺、mK200B溫控器、外殼循環水冷系統 |
可選配件 | 測試源表、真空系統(僅用于真空型號)、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線 |
二、功能特點
* 可編程精密控溫。可控制,也可從上位機軟件控制
* 探針需開蓋移動,樣品臺面電接地
* 探針,分別導通冷熱臺外殼上的4個BNC接口
* 杠桿式探針支架,點針力度大,電接觸性較好
* 彎針探針,點針精準
* 默認氣密腔室,通問2個快速自鎖接頭,可充保護氣體
* 上蓋帶有樣品觀察窗
* 臺體內置干燥氣體管道,用于負溫時對視窗的除霜
* 視窗可拆卸與更換,可用不同材質窗片實現不同波段光觀察
* 軟件可拓展性強,可提供LabView等語言的SDK
三、可定制更多測試功能
* 介電溫譜測試
* 四探針電阻率測試
* 絕緣電阻測試
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